ASML：致力于打造光刻机极致速度 DUV12秒即可完成整片晶圆

来源：中关村在线　2021-08-25 09:11:27

据ASML官方介绍，ASML一直在追求光刻机极致的速度，目前最先进的DUV光刻机，每小时可以完成300片晶圆的光刻生产。

也就是说，完成一整片晶圆只需要12秒，完成1个影像单元(Field)的曝光成像也就约0.1秒。

要实现这个成像速度，晶圆台在以高达7g的加速度高速移动。7g加速度是什么概念呢?F1赛车从0到100km/h加速约需要2.5秒，而晶圆台的7g的加速度，若从0加速到100km/h只要约0.4秒。

据介绍，芯片制造是一层层向上叠加的，最高可达上百次叠加，对套刻精度(overlay)的要求已经到了1~2纳米。

而晶圆从传送模组传送并放置在晶圆台上，会产生一定的机械误差，而精密机械的误差是微米等级(1微米=1,000纳米)，也就是说每片晶圆上了晶圆台，总是有个数千纳米以上的偏移。

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