可实现超精细半导体电路 三星或将于年内引入Inpria无机光刻胶

据韩国媒体报道，三星正致力于推动光刻胶供应多元化的实现，计划在今年之内引入Inpria的无机光刻胶，目前已经完成评估，有望应用于5nm超精细工艺制程。

据悉，Inpria是全球唯一制造无机光刻胶的企业，能够帮助实现超精细半导体电路。三星计划加强EUV工艺实力，而光刻胶领域对日本依赖又比较严重，因此其积极推动光刻胶供应多元化。

目前市面上的Snapdragon 888和Exynos 2100都是使用三星的5nm工艺制造的，此次引入Inpria无机光刻胶将有助于三星提升5nm工艺的实力，进一步与台积电争夺未来芯片代工市场。

不过，三星的5nm工艺，晶体管密度只能达到1.27亿个/mm²，逊色于台积电的1.73亿个/mm²。

标签： Inpria 无机光刻胶 三星

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