生产套刻精度约提高三成 ASML首台EUV光刻机系统已完成交付

来源：驱动之家　2021-07-23 11:38:57

作为全球第一光刻机供应商，荷兰ASML(阿斯麦)公布了2021年第二季度财报。

当季，ASML净销售额40亿欧元，毛利率50.9%，净收入10亿欧元，净预订额83亿欧元，其中EUV极紫外光刻机就有49亿欧元，而总的积压订单金额已达175亿欧元。

ASML在财报中还披露，第一台全新TWINSCAN NXE:3600D EUV光刻机系统已经交付给客户，相比之前的NXE:3400C生产力提高了15-20%，覆盖率(套刻精度)提高了约30%。

不过，ASML未透露接收客户是哪一家。

ASML还表示，正努力增加EUV光刻机在存储行业的量产应用，计划协助三个DRAM内存芯片客户在未来的工艺节点中导入EUV。

ASML EUV光刻机目前还是第一代产品，EUV光源波长13.5nm左右，物镜NA数值孔径0.33，并发展了一系列型号。

最早量产出厂的是NXE:3400B，产能有限，晶圆产能只有125PWH，目前的出货主力是NXE:3400C，产能提升到135WPH，而最新的NXE:3600D产能进一步提升到160WPH，价格据说也达到了1.45亿美元(约合9.38亿元)。

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