均拥有完全自主知识产权 上海精测交付两台前道量测检测设备

芯研所消息,由上海精测半导体技术有限公司制造的国内首台 12 寸光学线宽测量设备(OCD)与国内唯一 12 寸全自动电子束晶圆缺陷复查设备(ReviewSEM)顺利出机。两台设备的交付方为中芯国际。

据了解,OCD 设备除具有全自动光学膜厚测量能力外,还可以进行显影后检查(ADI)、刻蚀后检查(AEI)等多种工艺段的二维或三维样品的线宽、侧壁角度(SWA)、高度 / 深度等关键尺寸(CD)特征或整体形貌测量,具有高速、准确和非破坏等特点,是半导体前道检测的关键设备之一。

而 ReviewSEM 则是上海精测的另一重要设备产品,该设备的交付也使得公司成为目前全球成功开发该设备的唯一非美系厂商。

上海精测此次交付的两台前道量测检测设备,该设备从零部件到整机设计制造,均具有完全自主知识产权,填补了国内半导体产业链在该领域的空白!

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