优化设备东方晶源首台关键尺寸量测设备拿下订单并出机中芯国际

来源：IT之家　2021-07-08 14:23:57

东方晶源举行国内首台关键尺寸量测设备(CD-SEM)出机仪式，正式宣布斩获订单并出机中芯国际。

此次出机的关键尺寸量测设备(型号：SEpA-c410)面向 300mm(12 英寸)硅片工艺制程，可实现高重复精度、高分辨率及高产能的关键尺寸量测。进驻中芯国际后，将通过实际产线验证，进一步提升、完善设备，向产业化目标整体迈进。

芯片代工厂商要想生产出高良品率的芯片，除了芯片制造的主要工艺外，缺陷检测以及各项关键尺寸的检测也是工艺流程中不可或缺的环节。东方晶源出台的这台 300mm 硅片量测设备，其作用是对有效制程效力范围内的各项环节进行工艺评定。例如的薄膜厚度是否符合制程标准，芯片在完成刻蚀流程环节后，是否会影响硅片参数等。

此次出机仪式，标志着东方晶源继 2019 年攻克电子束缺陷检测技术后，再一次取得重大产品技术突破，填补了国产关键尺寸量测设备(CD-SEM)的市场空白。

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