被选为Nanoscale封面文章 上海微系统所完成亚纳米级位移传感

据中国科学院网站，日前，中国科学院上海微系统所等合作在硅衬底上提出了基于布洛赫表面光场的非对称传输实现超灵敏位移测量的方法，并实现了亚纳米级的位移传感。

光学手段为精密位移测量提供了非接触的方案，可实现高灵敏度、高分辨率的位移检测，在纳米尺度位移传感、半导体技术等领域具有重要应用。

据介绍，该研究基于硅基衬底，利用不对称狭缝形成纳米天线调控布洛赫表面波，实现了布洛赫表面光场的非对称传输，布洛赫表面波的不对称光场对纳米天线和入射高斯光场的相对位置具有超灵敏的依赖作用，通过对其远场表征就可以获得精确到亚纳米量级灵敏度的位移传感。

该工作利用纳米尺度的狭缝实现了布洛赫表面波的非对称传输，通过连续改变光与狭缝的相对位置，在实验上实现了对于位移的精确测量，灵敏度可达 0.12 nm-1，分辨率和量程达到 8 nm 和 300 nm。该研究为纳米测量及超分辨显微提供了新的物理原理，并为超灵敏的位移测量提供了精巧的微型化方案。

IT之家了解到，相关研究成果发表在Nanoscale上，并被选为当期封面文章。

标签： Nanoscale 位移传感 上海微系统所

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