阿斯麦NXE:5000高数值孔径极紫外光刻机拟2022年商用

来源：TechWeb 　2020-12-29 10:43:09

据国外媒体报道，阿斯麦是全球目前唯一能制造极紫外光刻机的厂商，在推出 TWINSCAN NXE:3400B 和 NXE:3400C 这两款极紫外光刻机之后，他们还在研发更先进、效率更高的极紫外光刻机。

在 10 月 14 日发布的三季度财报中，阿斯麦就披露他们新一代的极紫外光刻机 TWINSCAN NXE:3600D，计划在明年年中开始出货，生产效率较目前的产品提升 18%。

而从外媒的报道来看，除了 NXE:3600D，阿斯麦还在研发高数值孔径的极紫外光刻机 NXE:5000 系列，设计已经基本完成。

外媒在报道中也表示，虽然阿斯麦 NXE:5000 高数值孔径极紫外光刻机的设计已基本完成，但商用还需时日，预计在 2022 年开始商用。

作为一款高数值孔径的极紫外光刻机，NXE:5000 系列的数值孔径将提高到 0.55，阿斯麦目前已推出的 TWINSCAN NXE:3400B 和 NXE:3400C 这两款极紫外光刻机，数值孔径为 0.33。

值得注意的，在阿斯麦高数值孔径的极紫外光刻机方面，月初也出现过相关的消息。

在月初报道 CEO 彼得 · 维尼克等阿斯麦高管，到访三星电子并参观三星电子的半导体工厂时，外媒表示三星希望获得阿斯麦更多的极紫外光刻机、先于台积电获得高数值孔径极紫外光刻机。

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