阿斯麦ASML全新EUV光刻机计划于明年中期发货

来源：IT之家　2020-10-15 11:13:39

据《科创板日报》，光刻机制造商阿斯麦 ASML 公布了 EUV 路线图上的新机型 TWINSCANNXE:3600D 的最终规格，这是 30mJ/cm2 的曝光速度达到每小时曝光 160 片晶圆，提高了 18% 的生产率，并改进机器匹配套准精度至 1.1 纳米，计划于 2021 年的中期开始发货。

IT之家曾报道，ASML 昨日公布了三季度财报：第三季度销售额为 40 亿欧元，净利润 11 亿欧元，毛利率 47.5%，净利率 27.5%，第三季度新增订单 29 亿欧元。