阿斯麦ASML全新EUV光刻机计划于明年中期发货

据《科创板日报》,光刻机制造商阿斯麦 ASML 公布了 EUV 路线图上的新机型 TWINSCANNXE:3600D 的最终规格,这是 30mJ/cm2 的曝光速度达到每小时曝光 160 片晶圆,提高了 18% 的生产率,并改进机器匹配套准精度至 1.1 纳米,计划于 2021 年的中期开始发货。

IT之家曾报道,ASML 昨日公布了三季度财报:第三季度销售额为 40 亿欧元,净利润 11 亿欧元,毛利率 47.5%,净利率 27.5%,第三季度新增订单 29 亿欧元。

据外媒报道,ASML 向客户交付并可确认收入的光刻机达 60 台。其中,14 台为极紫外光刻机,较上一季度增加 7 台,但整体的交付量较上一季度减少了 1 台。

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